网页盘点不同材料陶瓷球及其工艺:氮化硅、氧化锆、碳化硅、氧化铝!. 1. 氮化硅陶瓷球. 图1 氮化硅生产工艺流程图. (1)粉体制备. 氮化硅粉体的合成方法主要有硅粉氮化法和化学合成法,国内均采用硅粉氮化法,与化学合成法制备的粉体相比,后者制备的粉体 ...经过多年的研究,研究者对此法进行了改进。吴学坤等将硅粉放入自行设计加工的回转氮化炉中避免了硅粉自烧结现象的发生。为了克服硅溢现象,李亚伟等通过添加氮化硅粉作为稀释剂,在提高硅粉氮化效率与氮化程度的同时也大大降低了游离硅的含量;Park等改变了稀释剂的含量并对比了氮化反应 ...
硅局部氧化(LOCOS)的隔离效果比整面全区覆盖式氧化效果好。LOCOS工艺使用一层很 薄的二氧化硅层200-500A作为衬垫层以缓冲LPCVD氮化硅的强张力。经过氮化硅刻蚀、光 刻胶剥除和晶圆清洗后,没有被氮化硅覆盖的区域再生长出一层厚度为3000〜5000 A的氧化 层。高力学性能|耐高温氮化硅陶瓷隔块的特性及工艺流程. 在应用初期,氮化硅陶瓷主要用于机械、冶金、化工、航空、半导体、医药等行业作为某些设备或产品的组件,并取得了良好的预期效果。. 近年来,随着制造技术和测试分析技术的发展,氮化硅陶瓷产品的 ...
حقوق النشر © 2023.CDM كل الحقوق محفوظة.خريطة الموقع